Allalin
炽热快速定量阴极发光显微镜雷电竞合法吗
AllaLin是一种纳米分辨率光谱仪，基于已称为定量阴极发光的破坏性技术，其将光学显微镜和扫描电子显微镜（SEM）集成到一个工具中。雷电竞合法吗雷竞技最新网址
Allalin允许“不妥协”大视场/快速扫描同步SEM成像与高光谱或全色CL地图。该系统是在不牺牲SEM性能的前提下获得最佳阴极发光性能的基础上建立起来的:光学显微镜和SEM的物镜精心集成，使它们的焦面匹配;光学显微镜采用亚微米精度加工，以消色差、高数值孔径(N.A. 0.71)检测，在大视场上具有优异的光子收集效率-高达300µm -与传统的CL技术相比。因此，定量阴极发光，其中仪雷电竞合法吗器相关的伪影可以本质上排除作为光谱特征或对比的解释，成为第一次可以想象的。
Allalin是为那些需要遵循严格的技术路线图和快速获取非常精确的光谱信息的人建造的，这是传统方法无法达到的。雷竞技最新网址
在半导体失效分析、开发和研究领域，Allalin的光谱测量能力为快速可靠的缺陷检测和定位提供了无与伦比的解决方案。已证实的使用案例包括测量位错密度、材料成分波动、应变、掺杂剂类型和浓度;以及其他广泛的应用。
在科学研究中，Allalin创建具有纳米分辨率的光谱图的能力使其成为终极理解进入纳米级物体的物理学的终极工具。
AllaLin具有全面的选项，可优化工具的应用程序：覆盖UV-IR波长范围的各种选择，稳定的低温阶段和高灵敏度EBIC（电子束感应电流）检测解决方案。
关键好处
从头开始设计为一个集成的CL-SEM系统
- 将光学收集置于电子柱内
- 需要对CL的零光学对准
- 在300μm视场(FOV)上的最高收集效率
- 确保CL均匀性和可重复性，使系统量算法很少。定量：光子收集效率在300μm的大foV上恒定（+ - 1％）（无渐晕）;在没有样品的任何位移的情况下进行300μmMaMIS：阴极发光结果是可重复的和可比性的。
- 使用更低的束流剂量，减少束流对敏感样品的损害
- 快!单高光谱CLmap测量时间范围从18秒到30分钟，而比赛的30分钟-多个小时
- 同时产生的扫描电镜图像和高光谱CL图像没有退化的电子探针的大小
- 肖特基FEG的高电流密度从:30pAto 300nA
- 最高分辨率SEM INTEM模式：下至3nm
- 直观的用户界面和专门的软件
- 触摸屏控制，易于浏览基于上下文的GUI，不需要专家来操作工具
- 专用Attomaphyperspectral分析软件(见另一小册子)
- 具有低温选项的高精度纳米定位阶段（10K至室温）
- 多功能:用于将atolight CL仪器集成到更大的光谱系统或补充其功能的光学集线器
系统配置
显示主要部件的Allalin系统的原理图设置。
快速高光谱映射允许充分表征感兴趣的区域，速度快每光谱1毫秒，可以在18秒内获得高质量的高光谱图(128 × 128像素)。该探测器涵盖了最常用的半导体材料，如氮化镓、砷化镓、金刚石、氧化镓和化合物的发射范围。
快速高光谱映射扩展，以检测近红外域中发射。该延伸特别适用于CL在硅和硅相关复合材料上的CL应用。
全色检测允许在指定波长范围内(带通)CL强度的超快速映射。每像素的测量时间可以低至100ns，这意味着一个4k地图可以在一秒内注册。atolight提供适合用户应用的探测器和带通。全色检测对于不同材料如氮化镓、碳化硅或砷化镓中的缺陷密度尤其有用。
氦低温恒温系统与纳米定位阶段兼容，允许在10K和室温之间的精确温度(+-0.1K)进行测量。在低温恒温器的冷头和样品夹之间的铜编织允许限制足够的振动，以保证在低温下的最佳成像分辨率。低温恒温器的多用途设计允许它与液氦和液氮一起使用。低温恒温器的选择是非常有用的分离热贡献的发射光谱或研究光谱变化取决于热激活。
EBIC和EBAC测量在被测结构中感应的电流。EBIC和EBAC是CL的补充，因为它们测量非辐射效应，而CL主要关注辐射效应。EBIC/EBAC信号和CL可以同时测量，即使在低温
TRCL允许测量CL衰减时间，分辨率低于10ps。有关TRCL选项的详细描述，请参阅Attolight Chronos手册。
Attolight可以每CL系统添加两个光谱仪，这允许共有四个检测器连接到CL设置。在检测器之间切换是计算机控制的，不需要任何硬件重新配置。
规格
- 肖特基热场发射枪
- 束流能量1keV - 10keV
- 最小的电子斑点尺寸:3纳米在10千伏
- 最佳工作距离3mm
- 高灵敏度SE检测器
- 现场升级到皮秒脉冲光电子枪(更多信息参见Chronos规范)
- 电子探针电流:30 pA ~ 300 nA
- 视野高达300μm
- 集成光集合：兰伯特发射器发射的30％的光子出来显微镜（在整个视野上恒定）
- 消色差反射物镜，从180 nm到1.6 μm
- 数值孔径:NA 0.71 (f/0.5)
- 色散光谱仪有两个成像出口(320毫米焦距)和一个3光栅的转塔(atolight提供了大量的衍射光栅，以最佳地适应您的应用)，机动的进出口狭缝
- 用于UV可见（200nm - 1100nm）检测，每秒最高速度> 900光谱的高速CCD摄像头
- Ingaas相机用于近红外线（600nm - 1700nm）检测，最高速度>每秒180光谱
- 全色检测在200nm - 1700nm使用不同的探测器，最高速度> 50ns每像素
- 低噪声EBIC电子板
- 电流测量限制为100FA
- 增益10 ^ 4到10 ^ 15 v / a
- 带宽高达100kHz
- 无油泵系统：用于电子枪和电子柱的离子吸气器泵和标本室的电子柱和涡轮分子泵
- 典型的标本交换时间：20分钟
- 真空门上的电气馈通
- 6自由度任意运动(与低温恒温兼容)
- 旅行范围：25 mm（x和y），3 mm（z），3°倾斜（x和y），10°旋转（z）
- 最小增量：1 nm
- 全程旅行范围100nm的可重复性
- 坐标系统，便于精确导航
- 温度范围从10K -室温0.1K精度
- 先进的数字温度控制器
- 在10K温度下，漂移速度小于300nm / h
- 同时CL(高光谱或全色映射)，SEM和EBIC映射
- 半自动操作的能力
- 直观的触摸屏基于图形用户界面(GUI)快速样本导航和实时数据说明，以检查测量状态
- 最大图像分辨率为4K，高光谱映射的最大分辨率图512 x 512像素，最小电子束停留时间为每像素50ns
SampleWerder概述由用户创建。为每个样本负载创建此概述，并促进导航到任何给定示例的感兴趣区域。该软件跟踪元数据文件中的位置，使数据分析更容易，并删除潜在的示例识别错误。
高光谱制图时的标准屏幕。用户可以选择光谱波段，实时控制测量的质量。
数据分析
- atolight为Attomap提供了强大的分析和报告解决方案。更多信息请参考独立的Attomap手册。
- 工具配置和CL数据同时保存，便于刀具配置的再现
- 易于密码保护的用户访问测量数据通过网络
- 导出以打开数据格式，为用户提供最大的灵活性，以选择他们的首选数据分析软件
系统布局
用于低温操作和操作台的氦杜瓦布局示例。
