SIC基板质量控制
缺陷检验与分类
Attolight Cl的主要优点
- 高分辨率阴极发光：缺陷
- 典型时间/图像：3分钟，高光谱图
- 40分钟/ 150mm晶片10张图片/晶片
检测到的缺陷
- 绿色乐队：4H-SIC中的3C-SIC夹杂物
- 蓝乐队：点缺陷
- 红色乐队：基础平面位错板（暗区）
- 黑线：堆叠故障
- 黑点：脱位
- 自动缺陷分类分类缺陷
光伏材料的过程开发
为了为光伏（PV）发电提供世界能源需求的显着成本，必须减少每个瓦特的面板成本。低成本的最佳前景，高容量光伏发电是薄膜无机化合物，包括CdTe和Cu（In，Ga）SE2（CIGS）。这两种材料目前构成了近20％的太阳能电池板销售，由于SI的优势以下优势，这一部分可能会增加：
- 这些材料的直接带隙意味着与Si，100-400μm相比，需要大大减小的材料厚度为2-5μm。
- 这种减小的厚度导致太阳能吸收器中的晶体质量的大大降低，它为更广泛的可能生产路线打开门;降低成本并增加吞吐量。
阴极致发光能够提供这些薄膜光伏材料的表征，其具有由其他技术无法匹配的空间分辨率。辅导系统特别提供以下优点：
- 关于它们的信号强度及其阴极发光光谱分布，可以分析诸如晶界和脱位的缺陷。这可以提供有关缺陷的电活动和任何化学分离效果的信息。
- 高度稳定的冷却阶段允许高分辨率扫描到10 k，提供有关掺杂剂和缺陷水平的空间分布的信息。另外，可以确定激发态的TEM依赖性，为这些状态提供激活能量。
- CL排放寿命的局部测量提供了前所未有的缺陷和组成梯度表征;载体寿命是PV的重要因素，在那里它们必须弥漫于触点以便收集。
这种关于光伏材料中的缺陷，结构和能量水平的数据组合提供了非常完全的分析
