Attolight的技术雷竞技最新网址基于阴极发光光谱技术。阴极发光(CL)是一种众所周知的现象，指的是任何材料在电子照射下发出的光。最著名的阴极发光应用是基于阴极射线管的电视机。当在现代电子显微镜(EM)中实现时，CL成为一种非常强大的缺陷检测方法，能够在整个晶圆规模上进行快速、非破坏性的缺陷检测。虽然阴极发光在很长一段时间内就已经为人所知，但技术实现一直局限于实验室手工使用。
1.Attolight完全集成的阴极发光系统方法
Attolight是唯一提供完全集成的阴极发光系统的供应商:Attolight设计、建造和优化电子和光学，以获得高效率的CL收集，同时保持产品的简单操作。Attolight的阴极发光系统是为研发和工业环境设计的，由于专有的光学设计和专利，实现了出色的性能。
典型的竞争解决方案包括安装在标准扫描电子显微镜（SEM）上的光收集附加组件。这种方法在再现性和光收集效率方面导致次优性能。此外，这些系统需要一名专门的操作员，在大多数情况下，为了正确使用该系统，该操作员需要在光谱学方面具有坚实的科学背景。最后，如果CL检测系统的性能不符合规范，这可能是由于SEM、阴极发光检测系统或与SEM对齐的检测器出现问题造成的。很难知道（a）是否仅对齐是问题，（b）是否存在系统问题，请哪家制造商进行维修。
2.雷电竞合法吗定量阴极发光
Attolight的光收集光学设计的方式，使光收集效率是恒定的视场(FOV)为300µm。这使用户能够定量地比较测量到的光谱形状、强度和波长位置在视野的不同区域。竞争的解决方案使用了不同的光线收集系统，以抛物面或椭圆镜的形式。这些系统的特点是在光学的中心轴上设计一个几微米的视场。
3.高光谱阴极发光
光谱成像的高光谱指定了一种高级CL模式，该模式记录了每个像素的全部发射光谱。这种模式需要一个高效的光收集系统以及高速电子设备和灵敏的摄像头。
Attolight的产品通过生成每像素1600个通道或颜色的图像来定义高光谱阴极发光。我们的技术提供毫秒级超光谱阴极发光图，采集时间为每像素1毫秒，这得益于高收集效率（NA=0.72），保证在300µm的视野范围内光圈上的零光子损失，以及对整个显微镜（从扫描线圈到相机）的优化控制，并且是一个非雷竞技最新网址常健壮的软件解决方案，能够处理巨大的数据采集速率而不会出现口吃。
4.超快点检测
超快速点检测(UPD)是一种阴极发光检测模式，在该模式下，每个像素都记录给定波长的强度。这种模式与高光谱模式完全不同，高光谱模式是在每个像素上注册全光谱。
UPD模式主要用于检测在给定波长下出现的缺陷，或者像图中所示的位错那样没有辐射的缺陷。
UPD比高光谱模式快约100倍（对于高光谱地图，大约1分钟；对于UPD地图，大约1秒），这使得它对于速度至关重要的许多工业应用非常有用。
5.皮秒时间分辨阴极发光
Attolight的工具可以现场升级，以测量皮秒发光衰减时间。通过软件控制，可以动态地从连续模式更改为时间分辨模式。该模式允许测量少数载流子寿命和激发载流子扩散距离。传统的时间分辨阴极发光系统使用束屏蔽器将电子束“斩”成短脉冲。然而，这种方法会导致空间分辨率的损失，时间分辨率无法达到皮秒级。这就是为什么阿光使用一种革命性的技术来获得短脉冲：利用光电效应，将短激光脉冲聚焦在电子发射器上，从而产生光电子发射。通过小心地将超快探测器与激发激光同步，可以实现低于10ps的时间分辨率。Attolight是唯一一家基于这种方法将时间分辨阴极发光系统商业化的公司，在实施和使用此类系统方面拥有全球独一无二的经验。
6.短时间内取得成果
任何用户都可以在几秒钟内完成样品对准，不需要先前的光谱经验。校准是在用户想要测量的发射信号产生完美信号校准的情况下完成的。光检测组件的读出是完全优化，以达到最大的测量速度。一幅包含4万像素的高光谱地图可以在40多一点的时间内测量出来。这意味着创建了一个超立方体数据，其中包含每像素1600种颜色的强度信息，在几秒钟内就能对样品进行完整的光学表征。
7.专利电子枪设计，产生最高电流密度
Attolight阴极发光工具的专有电子光学是定制设计的，可以在10纳米以下的电子光点尺寸下产生最高的电流密度。可达到以下规格:
10nm以下为30na
这使得Attolight系统在给定的加速度电压下比竞争的SEM-CL配置产生更多的阴极发光信号，或测量具有挑战性的材料，如发射非常低水平光的硅。
8.最低样品级漂移低温级
Attolight的低温溶液可以很容易地作为升级添加，无需更改样品阶段，升级可以在数小时内完成。阿托莱特冷冻级溶液显示出极低的漂移，更重要的是，SEM无法测量振动。这是通过使用铜编织物和无流动解决方案的机械去耦合振动实现的。
9.直观的触摸屏界面
Attolight的工具是完全远程控制的直观用户界面，完全集成在iPad上。这使得用户培训非常简单，工具易于使用。所有测量数据都在机器上的服务器上注册。数据可以在任何平台上读取。
10.数据分析和报表解决方案
Attolight CL显微镜可以生成包含多达1600种颜色的图像，被称为高光谱图。AttoMap是Attolight的强大解决方案，可将高光谱地图可视化为2D RGB地图或3D地图，并生成可视化数据分析报告。AttoMap优化了工作流并创建交互式的、可跟踪的报告。此外，AttoMap允许用户可视化2D RGB地图，并具有创建3D地图的强大功能。这个特性非常有用，因为它允许在第三维中显示CL光强度，为用户提供了一种表示复杂数据的非常简单的方法。
图中显示了一个3D地图的示例。色带与相关的光谱特征有关。3D图像可以立即识别不同特征之间的发射强度变化。
11.电子束感应电流(EBIC)检测
EBIC系统（用于获取样本的高分辨率电气数据）可以在初始安装时安装，也可以在升级后安装。EBIC模块与低温阶段完全兼容，低温阶段对某些类型的样品可能很重要。EBIC可以与阴极发光并行进行，即使在低温下也可以，因此可以在完全相同的工作条件下同时检测两个信号。
