atolight的技术是雷竞技最新网址基于阴极发光光谱技术。阴极发光(CL)是一种众所周知的现象，是指任何材料在电子照射下发出的光。最著名的阴极发光应用是以前基于阴极射线管的电视机。CL在现代电子显微镜(EM)中实现后成为一种非常强大的缺陷检测方法，能够在全晶圆规模上快速无损检测缺陷。虽然阴极发光已经知道很长一段时间，技术实施一直局限于手动实验室使用。
1.atolight完全集成的阴极发光系统方法
Attolight是唯一一家完全集成阴极发光系统的供应商:Attolight设计、建造和优化电子和光学，以获得高效的CL收集，同时保持产品操作简单。atolight的阴极发光系统是专为研发和工业环境设计的，由于拥有专利和专利的光学设计，其性能突出。
典型的竞争解决方案包括安装在标准扫描电子显微镜(SEM)上的光收集附加组件。这种方法导致了在再现性和光收集效率方面的次优性能。此外，这些系统需要专门的操作人员，在大多数情况下，他们需要扎实的光谱学科学背景才能正确使用系统。最后，如果CL检测系统不符合规范，这可能是由于SEM、阴极发光检测系统或探测器与SEM对齐方面的问题造成的。很难知道(a)是否校准本身就是问题，(b)如果系统出现问题，应该找哪家制造商维修。
2.雷电竞合法吗定量阴极发光
atolight的光收集光学设计使光收集效率在300µm的视场(FOV)上保持恒定。这使得用户能够定量地比较测量的光谱形状、强度和波长位置在不同的视场区域。竞争的解决方案使用不同的光收集系统的形式抛物面或椭圆镜。这些系统的特点是在光学中心轴线上设计了一对微米的视场。
3.高光谱阴极发光
光谱成像的高光谱是指一种先进的CL模式，即在每个像素中登记全发射光谱。这种模式需要一个高效的光收集系统，以及高速电子设备和敏感相机。
atolight的产品定义高光谱阴极发光的能力是每像素产生1600个频道或颜色的图像。我们的技雷竞技最新网址术为毫秒高光谱阴极发光地图提供了收购一毫秒的时间每像素由于收集效率高(NA = 0.72),保证零photon-loss视场光阑的300µm,优化控制整个显微镜——从相机的扫描线圈,一个非常健壮的软件解决方案能够处理巨大的数据采集速率而不结巴。
4.超快的点检测
超快速点检测(UPD)是一种阴极发光检测模式，在该模式中，每个像素中记录给定波长的强度。这种模式与高光谱模式(链接)有本质的不同，高光谱模式是在每个像素中注册全光谱。
UPD模式主要用于检测在给定波长出现的缺陷或非辐射性缺陷，如图中所示的位错。
UPD比高光谱模式快约100倍(高光谱图快约1分钟，UPD图快不到1秒)，这使得它在速度为关键的许多工业应用中非常有用。
5.皮秒时间分辨的阴极发光
atolight的工具可以现场升级，以测量皮秒发光衰减时间。从连续模式到时间分辨模式的改变可以通过软件控制实时完成。这种模式允许测量少数载流子寿命和激发载流子扩散距离。传统的时间分辨阴极发光系统使用束消隐器将电子束“切”成短脉冲。然而，这种方法造成了空间分辨率的损失，时间分辨率无法达到皮秒级。这就是为什么Attolight使用一种革命性的技术来获得短脉冲:利用光电效应，将一个短激光脉冲聚焦在电子发射器上，引起光电子发射。通过小心地将超快探测器与激发激光器同步，可以实现10ps以下的时间分辨率。Attolight是唯一一家基于这种方法商业化时间分辨阴极发光系统的公司，在实施和使用此类系统方面拥有全球独特的经验。
6.见效时间短
任何用户都可以在几秒钟内完成样品对准，无需任何前期的光谱经验。对齐是用用户想要测量的发射信号来完成的，产生一个完美的信号对齐。光检测组件的读数完全优化，以达到最大的测量速度。一张包含40000个像素的高光谱图可以在40多秒内测量出来。这意味着创建一个超立方体的数据，包含每像素1600种颜色的强度信息，在几秒钟内就能完成样本的光学表征。
7.专有电子枪设计，产生最高的电流密度
atolight阴极发光工具的专有电子光学是定制设计的，在10纳米以下的电子光斑尺寸产生最高的电流密度。可达到以下规格:
10nm以下的斑点尺寸为30na
这使得atolight系统在给定的加速电压下比其他SEM-CL配置产生更多的阴极发光信号，或测量具有挑战性的材料，如发射非常低水平的光的硅。
8.最低样品阶段漂移低温阶段
atolight的低温解决方案可以很容易地在以后添加作为升级，而不需要改变样品阶段，升级可以在几个小时内完成。atolight冷冻阶段溶液显示出极低的漂移，更重要的是，没有通过SEM测量的振动。这是通过使用铜辫和无流动溶液来机械解耦合振动来实现的。
9.直观的触摸屏界面
Attolight的工具完全由直观的用户界面远程控制，完全集成在iPad上。这使得用户培训非常简单，工具易于使用。所有测量数据都注册在机器上的服务器上。数据可以在任何平台上读取。
10.数据分析和报告解决方案
atolight CL显微镜产生的图像包含多达1600种颜色，被称为高光谱地图。AttoMap是atlight的强大解决方案，可将高光谱地图可视化为2D RGB地图或3D地图，并生成可视化数据分析报告。AttoMap优化了工作流程，并创建了交互式、可跟踪的报告。此外，AttoMap允许用户可视化2D RGB地图，并具有创建3D地图的强大功能。这个特性非常有用，因为它允许CL光强度在第三维中显示，给用户一个非常简单的方式来表示复杂的数据。
图中显示了一个3D地图的例子。彩色波段与相关的光谱特征相关联。3D图像可以立即识别出不同特征之间的发射强度变化。
11.电子束感应电流(EBIC)检测
EBIC系统(用于获取样本上的高分辨率电气数据)可以在初始安装时安装，也可以在以后升级时安装。EBIC模块完全兼容低温阶段，这对于某些类型的样品是很重要的。即使在低温下，EBIC也可以与阴极发光并行进行，因此可以在完全相同的工作条件下同时检测到这两种信号。
