SiC衬底质量控制

Attolight CL的主要优点

• 高分辨率阴极发光:缺陷
• 典型时间/图像:3分钟，高光谱图
• 40分钟/ 150mm晶片10张/晶片

检测到的缺陷

• 绿带:4H-SiC中3C-SiC夹杂物
• 蓝带:点缺陷
• 红色带:基面位错片(暗带)
• 暗线:堆叠故障
• 暗点:混乱
• 自动缺陷分类对缺陷进行分类