桑蒂斯300

全晶片阴极发光显微镜

Säntis 300系统是为150、200和300mm晶圆片的全自动控制而设计的。

Santis-Product-Attolight-Full-Wafer-Nanometer-Defect-Inspection

atolight的定量CL-SEM提供“不妥协”的大视场快速扫描同时采集SEM图像、高光谱CL图和光谱。
更小直径的硅片或形状杂乱的基片被人工加载到中间的300mm感光单元上，然后由工具自动处理。

satis300系统提供3种不同的采集模式:步进重复(S&R)，连续扫描模式(AWpix)，整合扫描模式(FWbrush)

可达300毫米晶圆工具
高CL-SEM吞吐量
同时扫描电镜成像和光学签名采集
晶片精确定位边缘检测(大于10µm)
自动晶圆弓测绘和校正

系统配置

多种系统配置可供选择，系统从P1完全升级到P3:

Santis-System-Configuration-Attolight-Full-Wafer-Nanometer-Defect-Inspection

P1:手动装料系统，无装料锁
P2:手动上料系统，上料锁
P3c:开式盒式磁带系统
P3e: EFEM系统

Attolight定雷电竞合法吗量阴极发光

Santis-Quantitative-Attolight-Full-Wafer-Nanometer-Defect-Inspection

atolight定量阴极发光雷电竞合法吗包括一个定制设计的电子柱与紧密集成的光收集光学。
光收集光学特点的视野高达300 μm。光检测路径经过精心优化和全孔径匹配，以保证在视场上最高的光采集均匀性(+-1%)。光学和电子光学的精心集成设计和优化使高测量速度，精度和可重复性成为可能。定量CL产生UV-Visible和NIR高光谱图(每个像素的全发射光谱)或全色图(每个像素的波长强度)。